常見(jiàn)問(wèn)題
當(dāng)前位置：首頁(yè) > 新聞資訊 > 常見(jiàn)問(wèn)題廠家詳解各種螺桿真空泵知識(shí)
（臺(tái)冠螺桿真空泵）
螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿，經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，此泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，壽命長(zhǎng)，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。在微電子、半導(dǎo)體、制藥、石油化工、航空航天、工具、造紙、包裝、食品、醫(yī)療器械、以及信息工程、生物工程、微電子等100多個(gè)領(lǐng)域?qū)η鍧嵳婵找筝^高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
（臺(tái)冠螺桿真空泵）
螺桿真空泵由泵蓋、泵體、圓盤(pán)，葉輪、機(jī)械密封、電動(dòng)機(jī)等零部件組成。進(jìn)氣管排氣管通過(guò)安裝在泵蓋上的園盤(pán)上的吸氣孔和排氣孔與泵腔相連，軸偏心地安裝在泵體中，葉輪用平鍵固定在軸上，螺桿真空泵兩端面的部間隙由泵體和園盤(pán)之間的墊來(lái)調(diào)整，葉輪與泵蓋上的園盤(pán)之間的間隙由園盤(pán)和泵體之間的墊來(lái)調(diào)整，葉輪兩端面與泵蓋上園盤(pán)之間間隙決定氣體在泵腔內(nèi)由進(jìn)氣口至排氣口流動(dòng)中損失的大小及其極限壓力。 螺桿真空泵的密封采用機(jī)械密封，機(jī)械密封安裝在葉輪和泵體間。由機(jī)械密封定出葉輪與泵體之間的間隙。在螺桿真空泵蓋上安裝有園盤(pán)，園盤(pán)上設(shè)有吸、排氣孔和柔性排氣閥片，柔性閥片的作用是當(dāng)葉輪葉片間的氣體壓力達(dá)到排氣壓力時(shí)，在排氣口以前就將氣體排出，減少了因氣體壓力過(guò)大而消耗的功率、從而降低率消耗。
（臺(tái)冠螺桿真空泵）
螺桿真空泵有以下種類
1.內(nèi)部壓縮型螺桿式：
除了使用一對(duì)非等距螺桿以外,內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)和外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計(jì)由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級(jí)泵相當(dāng)?shù)乃?。但在很多工藝?這種內(nèi)部壓縮同多級(jí)泵一樣,極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。
2.三葉圓裂片式：
三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理完全相同,它只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是象雙圓裂片式設(shè)計(jì)分為兩份。三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量,在傳動(dòng)部分有的廠家選用兩個(gè)直流馬達(dá),但這也會(huì)導(dǎo)致扭矩減小,重新啟動(dòng)的能力下降。同雙圓裂片式設(shè)計(jì)一樣,三葉圓裂片式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。
（臺(tái)冠螺桿真空泵測(cè)試視頻圖集）
3.雙圓裂片式：
雙圓裂片式設(shè)計(jì)和目前最流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上,一些最早期的干泵設(shè)計(jì)思想就是將羅茨泵疊加起來(lái)。這種多級(jí)設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜,并且每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時(shí),為了達(dá)到好的真空度,對(duì)各級(jí)的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然,干式螺桿真空泵這種設(shè)計(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較低。
4.外部壓縮型螺桿式：
在外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)中,使用一對(duì)等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最小,同時(shí)使得氣體通路最短也最簡(jiǎn)單。這樣,氣體在泵體內(nèi)停留的時(shí)間也最短。雖然這種設(shè)計(jì)由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較高,但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級(jí)設(shè)計(jì)使得其對(duì)氮?dú)庥昧康囊笠卜浅Ｐ《液?jiǎn)單,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮?dú)狻?/span>
5.組合式(羅茨+爪)：
組合式(羅茨+爪)設(shè)計(jì)用羅茨來(lái)提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來(lái)提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計(jì)完全相同。也有些廠家將其最后一級(jí)改為星型設(shè)計(jì),這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份,就象三圓裂片式設(shè)計(jì)可以將其分為三份。同樣,在很多工藝中,組合式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。
螺桿真空系統(tǒng)與其他真空系統(tǒng)的對(duì)比
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蒸汽噴射系統(tǒng) |
液環(huán)真空泵系統(tǒng) |
干式螺桿真空泵系統(tǒng) |
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1 |
當(dāng)工藝條件不穩(wěn)定時(shí)，可能會(huì)導(dǎo)致下游的排出物被抽回來(lái)，污染上游的工藝系統(tǒng) |
一旦真空泵出現(xiàn)問(wèn)題，排出物或工作液會(huì)被倒吸到上游污染工藝系統(tǒng) |
由于它是完全干燥的，對(duì)上游工藝沒(méi)有任何污染 |
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2 |
動(dòng)力蒸汽將同工藝蒸汽混合，需要處理后才能排放 |
工作介質(zhì)同工作液混合或冷凝到工作液中，需要處理后才能排放 |
不產(chǎn)生任何排出物，對(duì)環(huán)境沒(méi)有任何污染 |
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3 |
需要?jiǎng)恿φ羝?，耗量大、運(yùn)行成本高 |
它需要工作液(密封液)和相關(guān)的冷卻、分離裝置 |
公用工程需要量少，對(duì)泵的供應(yīng)只有少量的電、冷卻水 |
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4 |
噴射器容易被腐蝕，噴嘴容易磨損 |
如果工藝介質(zhì)有腐蝕性，液環(huán)泵及其工作液循環(huán)系統(tǒng)必須用耐腐蝕的材料來(lái)制造 |
在干式螺桿真空泵中不會(huì)發(fā)生任何腐蝕，因此可以用普通材料來(lái)制造 |
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5 |
由于介質(zhì)在噴射器擴(kuò)壓管上的沉淀容易被堵塞 |
需要額外的工藝和設(shè)備來(lái)從排出中分離或回收有用的溶劑和其他成分 |
干式螺桿真空泵中工藝介質(zhì)其接觸或混合，因此溶劑或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收 |
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6 |
噴射器的操作彈性小 |
如果工藝介質(zhì)沒(méi)有腐蝕性，則液環(huán)泵的初投資相對(duì)較低 |
干式螺桿真空泵可以被容易地從一個(gè)工藝裝置移植到另一個(gè)工藝裝置上 |
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7 |
冷卻水溫度將限制真空泵 |
工作液的蒸汽壓、工藝?yán)淠旱恼羝麎?、冷卻水溫度等的限制，液環(huán)真空泵的抽真空能力受到限制 |
同液環(huán)泵比可以產(chǎn)生較高的真空 |
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8 |
效率最低，只有20%的能量是用于抽真空 |
液環(huán)泵較其他系統(tǒng)需要更大的操作和設(shè)備維護(hù)工作 |
干式螺桿真空泵效率非常高，同其他類型的設(shè)備相比，它只消耗少量的電能 |
好了,詳解螺桿真空泵知識(shí)就介紹到這里，如果想了解真空泵行業(yè)的相關(guān)技術(shù)知識(shí),請(qǐng)關(guān)注我們下期精彩分享.
