近年來，干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比 ( 單級壓縮比 ) 。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比 ( 指單級壓縮比 ) 。不同類型的干式泵具有各自的特點(diǎn)。使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。

無油干式真空泵的特點(diǎn)： 　　
1、在使用真空，排氣的場合也不含有油份，不會像油式真空泵那樣對作業(yè)環(huán)境或制品造成污染，能夠在各個領(lǐng)域使用。 　　
2、與油式真空泵相比，不需要給泵加油，基本不需要點(diǎn)檢和檢修。 　
3、運(yùn)費(fèi)聲音低，使用壽命長。同時裝備有真空壓力表，調(diào)壓控制器。 　　
4、由于使用了特殊的自潤滑碳精片，具有很強(qiáng)的耐磨性。 　　
5、由于能夠高速運(yùn)轉(zhuǎn)，因此可以與電機(jī)直連。這樣可使泵小型化。 　　
6、由于多枚滑片的高速回轉(zhuǎn)，可使脈動很小，吸排氣穩(wěn)定。 　　

目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。
對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。
干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

1) 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2) 半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；